何為程控伺服型勻膠機

AC200-SE程控伺服勻膠機

性能特點：

1.兩種型號可選：AC200-SE（標準型）和AC200-PE（型）

2.內部緊湊設計，縮小設備尺寸，7寸觸屏控制面板操作系統，更方便操作

3.標準配置轉速10000rpm，可根據用戶需求進行定制，

4.工業級伺服電機，電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部

5.機身選用耐腐蝕不銹鋼，內腔采用耐腐蝕HDPE材料，排風和抽氣系統位于載片臺底部（利于排風效率和勻膠一致性）

6.透明可視，耐化學腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業時*隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣體的散發

技術參數：

程序設定：可存儲100組程序，每組100步，每個步驟可精確到0.1秒

轉動速度：0-10000rpm（高速可定制）

旋涂加速度：0-50000rpm/see（空載）

馬達旋涂轉速穩定性誤差：小于正負1rpm（AC200-SE）;0.1rpm（AC200-PE）

工藝時間設定：0-3000sec/step，

時間設置精度：0.1sec

支持wafer尺寸：碎片至200mm

旋涂作業均勻性：小于正負3%在6英寸范圍內

外形尺寸：433*306*306